电子東加热蒸发镀膜是利用高能的电子東轰击镀料表面,将电子束的能量转化为镀料的热能,使其蒸发,并输送到基片上沉积、凝聚形成膜层。 电子東加热蒸发镀膜的原理是:将灯丝加热至炽热状态后产生热电子发射,并在高压电场和磁场下被加速并聚集,形成密集的电子流(称为电子束)轰击镀料表面,使镀料表面局部迅速产生高温(可达3000~4000℃)而气化,因此适用于加热高熔点金属和化合物材料。此外,镀料通常装在水冷铜坩埚内,只有被电子東轰击的部位局部气化,不存在坩埚污染问题,因此可以得到比电阻加热蒸镀法更为纯净的膜层。…

电阻加热蒸发镀膜的原理是:将高熔点金属(如钨、钼、钽等,有时也用石墨、铬等)制成适当形状(如丝状、带状、板状等)作为蒸发源,通以低电压、大电流,让蒸发源对镀料直接加热,或者把镀料放入高温陶瓷坩埚中对其间接加热,使镀料气化蒸发,并输送到基片上沉积凝聚形成膜层。 由于蒸发源是作为一种热源,通过热传导及热辐射对镀料加热,因此蒸发源的温度必须大于镀料的蒸发温度。蒸发源材料采用高熔点金属,其熔点要显著高于镀料材料的熔点,而且在高温下应有较好的热稳定性，不与膜料反应。电阻加热蒸发镀膜的设备简单,操作方便,易…

溶液成膜法是在溶液中,经过化学反应在基片表面成膜的方法,包括化学镀膜、电化学镀膜及溶胶-凝胶法(SG法)镀膜。

化学气相沉积是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸气状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。

物理气相沉积(PVD)技术的沉积物直接来自源材料(称为镀料)。它有三个基本过程:气相镀料的产生、气相镀料的输送和气相镀料的沉积。(1)气相镀料的产生气相镀料的产生有两类方式:① 蒸发镀膜镀料受热蒸发成为气相镀料,称为蒸发镀膜,简称蒸镀，②溅射镀膜用具有较高能量的粒子轰击镀料靶,将镀料靶上的镀料原子击出,成为气相镀料,称为溅射镀膜。(2)气相镀料的输送气相镀料的输送必须在小于1.33×10-Pa的真空中进行,其目的是:①减少气相镀料在飞向欲镀膜光学零件(称为基片)的过程中与其他气体分子间…

光学零件的检验，通常包括线性尺寸、表面疵病、面形精度、角度误差、表面粗糙度以及像质、焦距等项内容,有时还要检验光学零件的反射率和透过率,具体检验项目根据光学零件精度要求而定。光学零件的线性尺寸包括：透镜的内、外径和中心厚度,棱镜的理论高度等；表面疵病包括麻点、擦痕、裂痕、破点、破边、开口气泡以及表面黏附物、霉雾等印迹等。 光学零件的面形精度包括：平面零件(平面镜、棱镜)的平面度、球面零件(球面透镜和球面反射镜)的球面度，一般利用光的干涉原理,通过观察干涉条纹的数量、形状、颜色及弯曲方向等的差异,…

光学零件的技术要求是保证光学零件加工精度及光学系统成像质量的依据,主要包括对光学材料质量的要求和对光学零件加工精度的要求。(1)对光学材料质量的要求 制造光学零件的光学材料的质量对光学零件及光学系统的成像质量有很大影响。而构成光学系统的各种光学零件在光学系统中的作用不同,对光学材料的质量要求也有很大差异,应合理地选择适当质量指标的光学材料。通常,根据光学零件的加工精度和用途不同，选择相应质量指标的光学材料。 光学玻璃质量选择参考数据 (2)对光学零件加工精度的要求 光学零件加工精度中最主要的指标…

光学零件的冷加工基本工艺是指透镜、平面镜、反射镜、棱镜及分划板等典型光学零件在加工过程中都需要经过的冷加工工艺。 其基本工艺流程如下:下料(切割)→粗磨(包括磨圆、磨曲率和倒角)→研磨(包括粗研、半精研和精研)→抛光(包括抛光和高速抛光)一定心磨边→清洗一镀膜(包括增反膜、增透膜、分光膜、保护膜等)一检验→涂保护膜→包装。

光学薄膜是指应用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和溶液成膜法等镀膜技术,在光学零件表面形成的一层或多层很薄的光学透明介质(或金属)膜层。 可以说,没有光学薄膜,大部分现代光学系统便无法发挥其效能,甚至失去作用。无论在增加或减少反射率、吸收率与透射率方面,还是在光束的分开或合并方面、在彩色的分离、合成和还原方面、在调制光束的偏振和位相状态方面以及在使某光谱带通过或阻滞方面等光学薄膜均起着至关重要的作用。此外,光学薄膜在光波导器件上更是起着不可缺少的作用。 例如,当一束白光由空气垂直入…

光学薄膜是现代应用光学技术中一类重要的光学组件，在现代光学仪器上使用的光学元器件几乎都镀有光学薄膜。最简单的光学薄膜模型是表面光滑、各向同性、均匀的平行面固体薄膜。这种模型便于理论处理。实际薄膜都多少偏离理想模型,它们一般是由几层、几十层组成,以达到更高的使用要求。 (1)按功能分类 光学薄膜按照其功能可分为增透膜(减反射膜)、增反膜、干涉滤光膜、分光膜、保护膜以及特殊膜(如太阳能薄膜、真空紫外反射膜)等。 (2)按薄膜的材料分类 01.金属膜 金属膜用作增反膜，主要有铝(A1)、银(Ag)、金…